• 油脂

  加工、安装和操作时沾染的润滑剂、真空油脂等。

  
  

• 水滴

  操作时的手汗，吹玻璃时的唾液等。

• 表面氧化物

  易氧化材料长期基露或放置在潮湿大气中所形成的表面氧化物。

• 酸、碱、盐类物质

  清洗后的残余物质、手汗、自来水中的矿物质等。

• 空气中的尘埃及其它有机物

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溶剂清洗是真空系统清洗中最为普遍的一种方法。常见的清洗溶剂包括有机溶剂、含洗涤剂的水、稀酸、碱、石油分馏物、各种金属清洗剂等等。根据污染物的不同，需要用不同的溶剂进行清洗。如矿物油脂需要用有机溶剂，锈蚀物需要用酸性金属清洗剂等。

超声波清洗是利用超声空隙作用来清洗目标，可以实现很强的物理清洗作用，清除较强粘附污染物。超声波清洗可以进入复杂的异形孔道，是很多清洗方法无法实现的。超声波清洗在应用中，需要根据污染物的不同，配合各类清洗溶剂。

蒸汽脱脂清洗适用于对表面油脂膜和类脂膜的清洗，操作方法简单，可以实现大批量清洗。一些带有牢固附着物或污染较为严重的基片在擦洗或超声波清洗后，用蒸汽脱脂清洗可以实现很好的清洗效果，常用于玻璃物件清洗的最后一步。

电解侵蚀清洗类似于电解抛光，是指在溶剂中利用电解作用，清除金属部件表面上的薄锈或氧化膜等污染物，主要用于化学稳定性较高的合金部件，如不锈钢，耐热钢，镍基合金等。

加热清洗主要是将部件置于常压或真空中加热，使其表面上的易挥发污染物挥发来达到清洗的目的。辐照清洗则是通过紫外辐照来分解部件表面上的碳氢化合物。

放电清洗一般用于高真空、超高真空系统清洗中。利用电子轰击气体造成解吸以及某些碳氢化合物的去除。放电清洗的效果取决于电机材料、几何形状及其与表面的关系。

氮气清洗主要是利用了氮气在材料表面的吸附热小、吸留时间短，容易被抽走的特性，用氮气冲洗被污染的真空系统，同时挤占水气等其他气体分子的粘附空间，缩短真空系统的抽气时间。

良好的真空环境对真空装置本身及真空工艺都会有好的影响，我们都应该引起重视。